半导体
半导体晶圆检测自动化系统
为半导体企业交付晶圆自动检测与传片系统，定位精度 ±0.5μm
项目背景
客户需要提升晶圆检测环节的自动化水平，减少人工干预带来的污染风险。
客户需求
洁净室 Class 100，定位精度 ±0.5μm，稼动率 ≥ 90%。
解决方案
EFEM 传片系统 + 高精度视觉检测设备，全流程自动化与数据追溯。
设备组成
1
EFEM 传片系统2
高精度视觉检测设备3
防静电输送线4
SECS/GEM 接口项目实施过程
1
需求分析
2
洁净环境方案设计
3
设备制造
4
洁净室安装调试
5
验收
最终效果
定位精度 0.5μm，洁净度达标，稼动率 92%，完全满足技术指标。
定位精度 ±0.5μm
洁净室 Class 100
稼动率 92%
现场图片
