蔡司级高精密
纳米光路控制系统
采用超低膨胀石英介质、多通道高抗噪压电闭环致动架构，实现纳米级波前畸变调校与极紫外（193nm）折射偏差实时补偿，助力先进制程前道量测与高端显微成像。
压电致动电压
75 V
动态分辨率
123.9 nm
波长载波
193 nm DUV
温漂闭环补偿
-0 nm
NANO-METROLOGY SYSTEM
蔡司级高精密
光纤物理波前测试仪ZEISS-METROLOGY v10.2
纳米级光学制造中心
依托极限深紫外光刻技术，结合极高纯度的合成石英玻璃，以及亚纳米级的研磨与离子束拋光工艺，精细打磨每一块光学镜片，确保系统波前差达到衍射极限水平。