Optical & Electrical Specs
精密产品与电学/光学技术参数
蔡司精工的每个镜头组件都集成有高灵敏的电学温控系统与压电陶瓷致动器，用于实时校正纳米级的折射畸变。以下为核心产品之全部测绘技术指标。
光学核心参数 (Optical Metrics)
- 工作波长193 nm
- 数值孔径 (NA)1.35
- 分辨率≤ 38 nm
- 焦深 (DOF)80 nm
193nm DUV Lithography Lens System
193nm DUV 半导体光刻透镜系统
专为先进制程光刻机设计的深紫外透镜组，集成了压电陶瓷超精密变形控制与纳米级电波前补偿器
闭环电学控制参数 (Electrical Control Params)
压电致动器驱动电压0 - 150 V
功能说明: 控制透镜微位移以校正波前畸变
温控系统加热器功率24 W/区域
功能说明: 多通道闭环精密温度调谐
电容式位移传感器反馈频率10 kHz
功能说明: 纳米级位置实时监测
静态功耗≤ 50 W
功能说明: 热源最小化设计，防止光学畸变
光学核心参数 (Optical Metrics)
- 放大倍率150 X
- 工作距离 (WD)12.5 mm
- 数值孔径 (NA)0.95
- 畸变≤ 0.05 %
Super High-Mag Metrology Objective
半导体超高倍率测量物镜
用于晶圆宏观缺陷与线宽关键尺寸测量，具备超长工作距离与近无限畸变校正功能
闭环电学控制参数 (Electrical Control Params)
自动对焦线圈电流0 - 500 mA
功能说明: 高速高灵敏音圈电机驱动
传感器模拟输出0 - 10 V
功能说明: 高抗干扰差分信号输出
压电物镜定位器电压-20 - 120 V
功能说明: Z轴超精密闭环定位
对焦电机功耗12 W
功能说明: 轻量化驱动以抑制热源传导
光学核心参数 (Optical Metrics)
- 有效通光口径300 mm
- 波前精度λ/50 (Peak-to-Valley)
- 参考面反射率4.0 %
- 设计焦距1200 mm
Large-Aperture Interferometer Lens
大口径精密激光干涉仪参考镜
光学表面粗糙度测量的基准透镜，内置极低热漂移电路与高灵敏温度阵列传感器
闭环电学控制参数 (Electrical Control Params)
温度传感器供电5 V
功能说明: 超精密防噪声传感器基准电平
测温通道数16 Ch
功能说明: 透镜表面温度分布监控
通信总线速率1.0 Mbps
功能说明: CAN-FD 闭环抗噪总线接口
校准线圈驱动≤ 2.0 A
功能说明: 用于电磁自校准消磁控制