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蔡司精工
技术咨询

我们的光学精密溯源体系

蔡司精工成立了“纳米计量前道光学联合实验室”,专注于解决半导体量测镜头受热膨胀与电信号漂移的波前畸变难题。我们拥有一流的超洁净恒温室(Class 10级,温度漂移控制在 ±0.01°C 以内),这使得每一款镜头的出厂测量都具有绝对可靠的基准。

我们与全球顶尖的光学研究机构(包括德国弗劳恩霍夫研究所等)建立了长期的学术互认与测试比对合作,对极紫外衍射极限、光学干涉偏振误差等进行多维度交叉校验。

超洁净实验室环境指标

  • 空气洁净室等级 (ISO 14644)Class 10 (百级级)
  • 温度浮动范围 (24h 连续)±0.01 °C
  • 防微振等级 (VC 曲线)VC-E 级 (0.01μm/s)
  • 相对湿度控制精度±2.0 %

学术比对与检测准入证书 (Certificates)

ISO/IEC 17025 国际级光学与电学仪器校准实验室认可证书

发证年度: 2025
认证/测评机构中国合格评定国家认可委员会 (CNAS) / 国际实验室认可合作组织 (ILAC)
证书编号/报告文号CNAS L98101
学术测试与校准测定范围显微光学传递函数、纳米级波前畸变测定、高精密压电位移致动器控制电平校准
审核通过 (年检完成)VERIFIED COMPLIANCE

国家级前道光学系统计量校准资质授权书

发证年度: 2024
认证/测评机构国家光学仪器质量监督检验中心
证书编号/报告文号NOIQC-2024-089
学术测试与校准测定范围极紫外光刻透镜衍射极限测定、大口径光学平面干涉比对基准
资质有效VERIFIED COMPLIANCE

蔡司金工标准光学镜头一致性对比评估报告

发证年度: 2026
认证/测评机构德国弗劳恩霍夫应用光学与精密工程研究所 (Fraunhofer IOF)
证书编号/报告文号FhG-IOF-ZE-90
学术测试与校准测定范围193nm透镜系统波前畸变 RMS ≤ 0.02λ 指标核准
学术互认一致VERIFIED COMPLIANCE